《硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》（GB/T38976-2020）【全文附PDF版下载】

浏览量：时间：2020-09-15 03:36:47

《硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》（GB/T38976-2020）【全文附PDF版下载】

标准号：GB/T38976-2020

中文标准名称：硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法

英文标准名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials-Inert gas fusion infrared detection method

中国标准分类号（CCS） H17 国际标准分类号（ICS） 77.040

发布日期 2020-07-21 实施日期 2021-06-01

主管部门国家标准化管理委员会归口单位全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会