《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》（GB/T38614-2020）【全文附PDF版下载】

浏览量：时间：2020-07-19 01:13:04

《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》（GB/T38614-2020）【全文附PDF版下载】

标准号：GB/T38614-2020

中文标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

英文标准名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

中国标准分类号（CCS） N10 国际标准分类号（ICS） 01.040.39

发布日期 2020-04-28 实施日期 2020-11-01

主管部门工业和信息化部（电子）归口单位全国电子测量仪器标准化技术委员会

发布单位国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

全文下载（高清无水印版）：《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》（GB/T38614-2020） 【提取码: 7wxf】

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